低真空(kong)機組工作(zuo)壓力高、排(pai)氣量大，多(duo)用于真空(kong)輸送、真空(kong)浸💯漬、真空(kong)過濾、真空(kong)幹燥機真(zhen)空脫氣等(deng)。低真空🏊🏾‍♀️機(ji)組常用👿的(de)主泵，容積(ji)式真空泵(beng)中的往複(fu)泵、水環泵(beng)、油封機械(xie)泵、螺杆真(zhen)空㊙️泵、濕式(shi)羅茨泵以(yi)及噴射泵(beng)、分👋子篩吸(xi)附泵等這(zhe)些直排大(da)氣型的真(zhen)空泵都可(ke)以勝任，但(dan)根據被抽(chou)氣體的清(qing)🤑潔程度、濕(shi)度🧎🏻‍♀️‍➡️及其他(ta)條件，需配(pei)置除塵器(qi)、氣水油水(shui)分離器、幹(gan)燥阱等設(she)施。

适用(yong)于需要大(da)抽速和獲(huo)得中真空(kong)的各種真(zhen)空系統中(zhong)，如鍍膜😈機(ji)、真空冶煉(lian)、真空熱處(chu)理及醫藥(yao)化工、電工(gong)🤑焊接等行(hang)業。以往中(zhong)真空機組(zu)由羅茨真(zhen)空泵👩🏿‍❤️‍💋‍👨🏽+油封(feng)機械泵、羅(luo)茨真空+水(shui)環真空泵(beng)以😸及雙羅(luo)茨真空泵(beng)這樣🏊🏿‍♀️的組(zu)合居多。随(sui)着螺杆真(zhen)空泵💌這樣(yang)的無😸油真(zhen)空泵的興(xing)起，羅茨真(zhen)🙆🏿空泵+螺杆(gan)真空泵這(zhe)樣的無油(you)真空機組(zu)也逐漸增(zeng)多，适應性(xing)更廣。

高(gao)真空機組(zu)工作于分(fen)子流狀态(tai)下，工作壓(ya)力區間😝在(zai)10-2～10-6Pa，排量小、抽(chou)🙂‍↔️速大，一般(ban)情況下主(zhu)泵由擴散(san)泵、分子🏊🏿‍♀️泵(beng)、钛👼🏾升華泵(beng)以及低溫(wen)冷凝泵等(deng)來承擔，由(you)于它們無(wu)法直接在(zai)大氣下工(gong)作，因此配(pei)置前級泵(beng)、預抽泵等(deng)，情況下爲(wei)防止氣壓(ya)波動還👹需(xu)要配置維(wei)持泵與儲(chu)氣罐等